|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
|
|
Recovery of Waste Semiconductors for CVD Precursors.
Bumba, Jakub ; Dytrych, Pavel ; Fajgar, Radek ; Dřínek, Vladislav
The newly patented method for regeneration of ultrapure silicon and germanium via magnesium silicide and magnesium germanide from waste photovoltaic (PV) cells, broken germanium lenses and waste magnesium chips was utilized to obtain chemical vapour deposition (CVD) precursors for application in electronics, optics or nanoparticles synthesis. Magnesium silicide and germanide were prepared directly by thermal synthesis from waste materials in optimized tube reactor at 400°C and 5 Pa. X-Ray Diffraction (XRD) confirmed 97.9% respective 95% purity of products. The presence of silicon and germanium hydrides (CVD precursors) prepared by acid hydrolysis in the second step of the process was verified by Gas Chromatography–Mass Spectroscopy (GC/MS) and Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). The crude, unrefined mixture of silicon hydrides served as raw material for CVD experiment at different substrates. SEM images confirmed occurrence of various micro and nano particles which could be used in electronics, optics and catalysis.
Plný tet: SKMBT_C22019011614381 -  PDF
Plný text: content.csg - PDF
|
|
|
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Ředina, Dalibor ; Mikulík, Petr (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM. Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
|
host ::
RSS.